Уже первые древнегреческие материалисты утверждали, что не боги, а материальное "первоначало", "первоматерия", "первовещество" является источником всего существующего. Фалес (VII-VI вв. до н. э.) полагал, что таким "первоначалом" является вода. Анаксимен (VI в. до н. э.) считал "первоматерией" воздух. Третий представитель материализма ионийской школы Анаксимандр (VI в. до н. э.) отказываясь от сведения всего качественного многообразия к одному какому-либо непосредственно воспринимаемому веществу, утверждал, что "первоначалом" является некая "неопределенная материя". Уже на этой первой ступени своего развития античный материализм в противовес мифологии утверждает, что мир не был сотворён, а существует вечно, находясь в состоянии непрерывного изменения, обновления. Так, Анаксимен учил, что "солнце, луна и прочие огненные светила" возникли из земли: "из последней поднимается влага, которая, разрежаясь, становится огнём, а из поднимающегося вверх огня образуются светила". Наивный, ненаучный характер этой точки зрения, лишённой строгого фактического обоснования и доказательства, не исключал в условиях того времени её выдающегося значения, как первой попытки понять мир в его материальном единстве в развитии.
Наиболее выдающимся представителем этой начальной ступени развития античного материализма был Гераклит из Эфеса (V в. до н. э.). Гераклит полагал, что первоматерией, первовеществом является огонь, который в несравненно большей мере, чем вода, воздух и т. п., характеризует процессы непрерывного движения, возникновения и исчезновения, присущие природе. Гераклит утверждал, что "мир, единый из всего, не создан никем из богов и никем из людей, а был, есть и будет вечно живым огнём, закономерно воспламеняющимся и закономерно угасающим".
Против учения Гераклита о всеобщем течении, возникновении и разрушении выступили Парменид (конец VI - начало V в. до н. э.), Зенон (V в. до н. э.) и другие философы из Элеи. Элеаты утверждали, что чувственное восприятие, свидетельствующее о всеобщем движении и изменении, обманывает нас. В действительности "бытие" неподвижно, неизменно, лишено тех свойств, о которых говорят органы чувств. Это реакционное противопоставление сущности и явления было опровергнуто атомистическим материализмом, главным представителем которого был Демокрит (ок. 460-370 гг. до н. э.).
Демокрит является крупнейшим материалистом древней Греции. В. И. Ленин характеризовал материализм античности, противостоящий идеалистической "линии Платона", как "линию Демокрита". Демокрит отказался от наивных представлений о первоначале, первоматерии. Он утверждал, что, поскольку мир существует вечно, никакого первовещества никогда не было. Понятие первоматерии Демокрит заменил понятием атома, поставив, таким образом, вопрос о структуре материи. Всё, согласно Демокриту, состоит из неделимых, вечных атомов, незначительно отличающихся друг от друга, и пустоты. Различные сочетания атомов составляют всё многообразие вещей.
Выдающимися продолжателями учения Демокрита были Эпикур (341-270 гг. до н. э.) и древнеримский материалист Лукреций Кар (99-55 гг. до н. э.). Развивая учение Демокрита, Эпикур приписывал атомам не только различия по величине и форме, но также и различия по весу. Кроме прямолинейного, обусловленного тяжестью движения атомов Эпикур допускал также самопроизвольное их движение, отклонение от прямой линии, необходимое, по его мнению, для объяснения бесконечного многообразия материального мира. Лукреций систематизировал учение Эпикура и изложил его в яркой художественной форме в поэме "О природе вещей". С помощью атомистической гипотезы Лукреций обосновал материалистический тезис - "нечто не способно возникнуть из ничего". Идея вечного движения, изменения, обновления, возникновения и исчезновения отдельных вещей и целых миров в бесконечной материальной вселенной является одним из важнейших положений его учения. Атомистическая гипотеза явилась выдающимся научным завоеванием античного материализма: она с самого начала носила ярко выраженный атеистический характер. Однако при отсутствии развитых научных представлений о строении материи эта гипотеза неизбежно вела к представлению о существовании "последних кирпичиков" мироздания и отожествляла вечность, неуничтожимость материи с неизменностью форм её существования.