Крещение огнем. Алтарь победы

Некоторые предприятия начали создавать собственные полупроводниковые производства. Но поскольку подобная инициатива не поощрялась и деньги на нее не выделяли, все это были куцые, до конца не доведенные проекты. Ведь столь сложная технология предъявляет особые требования к чистоте помещений, оборудованию, метрологии и т. д.

Еще один фактор, пагубно сказавшийся на развитии отечественной электроники, – ситуация в области вычислительной техники, которая в основном и стимулировала развитие микроэлектроники. У нас было приостановлено развитие собственных ЭВМ. Хотя работы С.А. Лебедева и создаваемые под его руководством ЭВМ, в частности БЭСМ-6, были передовыми для того времени. Но произошла переориентация на серию ЕС ЭВМ – аналог системы IBM 360/370. Это сразу приостановило разработки, в том числе и в области элементной базы.

В результате многие перспективные с точки зрения архитектуры решения ЭВМ, которые предлагал последователь С.А. Лебедева В.С. Бурцев, не могли быть вовремя реализованы из-за отсутствия должной элементной базы, хотя эти решения опережали иностранные машины. То же произошло и с персональными компьютерами. Отсутствие миниатюрных интегральных схем вкупе с запретом на применение импортной элементной базы привели к отставанию и в этой области.

В конце 80-х годов стало очевидным, что ситуацию надо менять. И на нашей фирме, и в Зеленограде сложилась концепция мини-фабрик. Их основная идея – дать предприятиям возможность самим отрабатывать опытные образцы ИС.

Для этого строилась кластерная система, состоящая из отдельных вакуумированных автоматизированных модулей и позволяющая проводить все необходимые технологические операции. В Зеленограде работали над проектом – мы его финансировали, его поддержала военно-промышленная комиссия, сумели тогда собрать специалистов из Минска, Новосибирска, Томска, Москвы и Зеленограда. Был разработан эскизный проект, сделана первая модель. Но наступил общий развал и проект был остановлен…» – вспоминает Анатолий Савин. (.

Учитывая все возрастающую ответственность зеленоград–ского Научного центра (НЦ) за судьбы отечественной микроэлектроники, при НЦ в 1987 г. было организовано подразделение перспективных исследований (ППИ) под руководством доктора технических наук С. А. Гаряинова, в задачу которого входило рассмотрение на конкурсной основе проектов в области микроэлектроники. Причем проектов, превосходящих мировой уровень! Ставилась задача – не догонять Запад, а перелететь через него и возглавить мировую гонку.