Вакуум (от лат. пустота)
Ва'куум
(от лат. vacuum — пустота), состояние газа при давлениях значительно ниже атмосферного. Понятие В. применяется обычно к газу, заполняющему ограниченный объём, но нередко его относят и к газу, находящемуся в свободном пространстве, например в космосе. Поведение газа в вакуумных устройствах определяется соотношением между длиной свободного пробега
l молекул (или атомов) и размером d
, характерным для данного прибора или процесса. Такими размерами могут быть, например, расстояние между стенками вакуумного объёма, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние между электродами электровакуумного прибора и т.п. В зависимости от соотношения l и d
различают: низкий В. (l <<
d
), cpeдний В. (l
~ d
), и высокий В. (l << d
).
В вакуумных установках и приборах размером d
~ 10 см
низкому В. соответствует область давлений выше 102
н
/м
2
(1 мм рт. ст.
), среднему В. — от 102
до 10-1
н
/м
2
(от 1 до 10-3
мм рт. ст.
) и высокому В. — ниже 0,1 н
/м
2
(10-8
мм рт. ст.
). Область давлений ниже 10-6
н
/м
2
(10-8
мм рт. cm.
) называют сверхвысоким В. Однако, например, в порах или каналах диаметром d
~
1 мкм
поведение газа соответствует высокому В. при давлениях, начиная с 103
н
/м
2
(десятки мм рт. ст.
), а в камерах для имитации космического пространства, размеры которых достигают десятков метров, границей между средним и высоким В. считают давления 10-3
н
/м
2
(10-5
мм рт. ст.
).
Наиболее высокая степень В., достигаемая существующими методами, соответствует давлениям 10-13
—10-14
н
/м
2
(10-15
—10-16
мм рт. ст.
). При этом в 1 см
3
объёма остаётся всего несколько десятков молекул. Достигаемая степень разрежения определяется равновесием между скоростью откачки газа и скоростью его поступления в откачиваемый объём. Поступление может происходить за счёт проникновения газа в вакуумную камеру извне через микроскопические отверстия (течи), а также в результате выделения газа, адсорбированного стенками или растворённого в них (см. Адсорбция
). Свойства газа в условиях низкого В. определяются частыми столкновениями молекул газа друг с другом, сопровождающимися обменом энергией между ними. Такой газ обладает внутренним трением (см. Вязкость
). Его течение подчиняется законам аэродинамики (см. Аэродинамика разреженных газов
). Явления переноса (электропроводность, теплопроводность, внутреннее трение, диффузия) в условиях низкого В. характеризуются плавным изменением или постоянством градиента переносимой величины. Например, температура газа в пространстве между «горячей» и «холодной» стенками в низком В. изменяется постепенно. При этом переносимое количество тепла (теплопроводность
) или вещества (диффузия
) не зависит от давления. Если газ находится в двух сообщающихся сосудах при различных температурах, то при равновесии давления в этих сосудах равны. При прохождении тока в низком В. определяющую роль играет ионизация молекул газа (см. Электрический разряд в газе
, Ионизация
). В высоком В. свойства газа определяются только столкновениями его молекул со стенками. Столкновения молекул друг с другом происходят редко и играют второстепенную роль. Движение молекул между стенками происходит прямолинейно (молекулярный режим течения газа). Явления переноса характеризуются возникновением скачка градиента переносимой величины на стенках; например, во всём пространстве между горячей и холодной стенками примерно половина молекул имеет скорость, соответствующую температуре холодной стенки, а другая половина — скорость, соответствующую температуре горячей стенки, т. е. средняя температура газа во всём объёме одинакова и отлична от температуры как горячей, так и холодной стенок. Количество переносимого тепла, вещества и т.д. прямо пропорционально давлению газа. Давление газа, находящегося в сообщающихся сосудах, p
1
и p
2
при различных абсолютных температурах T
1
и T
2
определяется соотношением:
Прохождение тока в высоком В. возможно только в результате испускания (эмиссии) электронов и ионов электродами (см. Термоэлектронная эмиссия
. Туннельная эмиссия
. Вторичная электронная эмиссия
, Фотоэлектронная эмиссия
, Ионная эмиссия
). Ионизация молекул газа здесь играет второстепенную роль. Она существенна в тех случаях, когда длина свободного пробега заряженных частиц искусственно увеличивается и становится значительно больше расстояния между электродами (см., например, Магнетрон
, Магнитный электроразрядный манометр
), или при их колебательном движении вокруг какого-либо электрода (см. Клистрон
, Ионизационный манометр
). Свойства газа в среднем В. являются промежуточными между его свойствами в низком и высоком В.