Работы. Мемуар

Одной из характерных особенностей политического руководства производством были месячники. То экономии чего-нибудь, а то, скажем, месячник подачи рацпредложений. Их можно было подавать в любое время, но в этом месяце за этим следили, и от подразделений требовали соревноваться между собой. Не помню, первое место как-то слегка вознаграждалось или просто повышался престиж. Но участие было добровольно-обязательным. Мы с Якоревым, помнится, подали как-то вдвоём очень много рацпредложений, обеспечив первое место и лаборатории в отделе, и отделу в ОКБ. Одно было даже с экономическим эффектом. Кажется, это было применение дьюарной кружки для разливания жидкого азота в ловушки (для остаточных газов) высоковакуумной установки. Не помню, каким образом, но при этом, вроде бы, достигалась экономия жидкого азота, которую можно было посчитать в рублях. А большинство рацпредложений были без экономического эффекта. Хотя и за них должны были, по идее, выплачивать потом какие-то копейки. Одним из рацпредложений было то приспособление для поиска в пространстве фокуса анализатора. Но главное было их оформить, дальнейшая их судьба никого не интересовала. И даже за экономию жидкого азота, помнится, мы ничего не получали, хотя это рацпредложение было не только оформлено, но и осуществлено. Собственно, осуществлено ещё до оформления. Просто попало под месячник, а то бы мы просто так и пользовались дьюарной кружкой для жидкого азота, как раньше, без оформления. В общем, практика с рацпредложениями сильно отличалась от разработанных для них положений, которые я тогда прочёл.

В калибровке Оже-спектрометра я столкнулся с непреодолимыми трудностями. Для изучения линейности или нелинейности зависимости величины низкоэнергетического (92 эВ) Оже-пика кремния от интенсивности пучка электронной пушки, было необходимо в процессе измерений очищать образец от нарастающего на нём под действием электронного пучка слоя углеродных загрязнений. Потому что вакуум в спектрометре был всё-таки не совсем на нужном уровне. Для очистки образца применялась та же аргонная ионная пушка, что для элементного анализа по глубине, только для профиля по глубине нужны большая мощность и время работы. Небольшим количеством аргона, попадающим в камеру через диафрагму пушки вместе с ионным пучком, можно пренебречь – уж он-то на поверхность образца не должен прилипать, являясь инертным газом. Однако, не успел я включить собственно пушку, только напуск аргона в неё открыл, как Оже-пик кремния сильно изменился. Он увеличился и стал шире, то есть, похоже, состоял теперь из двух сходных отчасти перекрывающихся пиков с небольшим сдвигом друг относительно друга по энергетической шкале. Какое-то количество аргона, просачиваясь в вакуумную камеру, попадало и в электронную пушку, и та принялась выстреливать ионы аргона вместе с собственными электронами. Не знаю, как это возможно. Мало того, что ионы должны быть отрицательно заряжены, их пучок, вообще-то, не должен был фокусироваться так же, как электронный. Но другого объяснения лишнему пику я не придумал. Ионы аргона тоже возбуждали Оже-эмиссию. Но с пиком другой формы, во всяком случае, что касалось кремния. Если настоящую ионную пушку я мог включать только время от времени, чтобы почистить образец между измерениями, то этот эффект работы электронной пушки как самозваной ионной устранить было невозможно. Если бы я попытался измерения проводить без аргона в пушке, и после работы пушки ждал откачки аргона, измерения растянулись бы на такое время, что и без электронного пучка поверхность образцов загрязнялась бы. Не говоря о том, что никто не дал бы мне особо много приборного времени на непроизводственную надобность. Аргон, между прочим, довольно медленно откачивается именно вследствие того, что инертный43

. Кто же знал, что он будет такой помехой. Ну и – о какой калибровке может идти речь, если она необходимо включает очистку поверхности образца, а попытка сделать эту очистку приводит к сильному искажению результатов? Тот «ионный» Оже-пик кремния был гораздо больше основного, «электронного». Выделить из него «настоящий» пик кремния не представлялось возможным.

Меж тем параллельно постепенно обнаруживалось, что начальство вообще не заинтересовано в том, чтобы кто-то занимался наукой. Даже такой приземлённой, в интересах электронной промышленности.

Начальство (отступление)